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淺談分子泵維修的操作要求
更新更新時間：2019-09-16 瀏覽次數(shù)：2600
分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。 分子泵維修的操作要求：
1、分子泵的氣路接口的快接法蘭的螺桿應(yīng)朝上，以防松弛造成漏氣;
2、不能在大氣狀態(tài)下開分子泵，必須在達到10Pa時才能打開其相應(yīng)的高閥，開啟分子泵;
3、當M2(箱體2)或M7的真空度始終抽不到位時，應(yīng)檢查旋片泵的電磁閥工作是否正常;
4、在開分子泵前必須打開冷卻水閥;在分子泵的葉輪停止運轉(zhuǎn)后，必須關(guān)閉冷卻水閥;
5、每次停機后，務(wù)必清潔各分子泵的進氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞;
6、當出現(xiàn)報警信息“EF”時，應(yīng)檢查冷卻水路是否通暢，可用器槍檢查。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。而當出現(xiàn)其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵，待后處理;
7、在分子泵出現(xiàn)問題而不能使用時，應(yīng)暫停生產(chǎn)，手動充大氣后，更換備用的分子泵;
8、當始終達不到分子泵啟動條件時,應(yīng)檢查前級泵和電磁閥工作是否正常;
9、當分子泵出現(xiàn)故障時,須根據(jù)故障提示作相應(yīng)處理。
這種分子泵維修具體可分為：
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。
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