氦檢漏儀是一種以氦氣作為示蹤氣體，專門用于檢測有氣密性要求的產品密封性的質譜分析儀器。主要是基于質譜分析技術。它采集被檢件中的氣體并將其電離，利用不同種類氣體離子質荷比不同的特點，通過磁偏轉分離原理檢出氦離子。通過測量氦離子流來確定漏孔的大小及位置。

　　氦檢漏儀的功能特點：

　　1、高靈敏度：能夠檢測到極小的泄漏率，例如可達到10^-12 mbar·L/s的水平，這對于確保高標準的密封性能至關重要。

　　2、專用性強：氦氣由于其原子尺寸小、化學性質不活潑以及在大氣中含量極低的特性，成為理想的檢漏氣體。

　　3、快速響應：能快速響應泄漏變化，使得檢測過程效率高，節省時間。

　　4、多種檢測模式：根據不同的檢測需求，氦檢漏儀可能支持吸槍模式（用吸槍在疑似泄漏處吸入氣體進行檢測）和累積模式（在密閉空間內積累氦氣后檢測）。

　　5、易于操作：通常設計有用戶友好的界面，便于操作者設定參數、啟動檢測程序及解讀結果。

　　6、自動化程度高：可以編程控制檢測過程，實現自動化檢測，減少人為操作誤差。

　　7、寬泛的應用領域：廣泛應用于半導體制造、汽車制造、航空航天、化工管道及空調制冷等多個領域。

　　8、環境因素考慮：雖然使用氦氣作為檢漏介質，但氦檢漏儀的設計也會考慮到環境保護和經濟成本，盡量減少氦氣的使用量。

　　9、多功能集成：可能與其他檢測功能集成，如壓力衰減檢測等，提供一體化解決方案。

　　10、數據記錄與輸出：具備數據記錄功能，可將檢測結果保存和輸出，便于跟蹤記錄和質量控制。